金屬蝕刻技術(shù)及類型，你知道嗎？

       東莞市同進(jìn)電器科技有限公司是一家專注于金屬精密蝕刻企業(yè)，自成立以來一直致力于蝕刻產(chǎn)品加工，研發(fā)，以及后工序完善的配套工序。公司擁有20000平米生產(chǎn)基地，十七多年的精密蝕刻加工經(jīng)驗(yàn)，先后取得ISO9001,IATF16949等認(rèn)證。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用電器、精密五金、通訊產(chǎn)品、汽車零件、裝飾板、醫(yī)療器械、石油化工、實(shí)驗(yàn)科研、應(yīng)用元件等行業(yè)等各個(gè)領(lǐng)域，公司工藝集蝕刻、沖壓、焊接、CNC，電鍍電泳噴油PVD等綜合工藝于一體，使客戶得到一站式服務(wù)。

蝕刻是一種利用化學(xué)強(qiáng)酸腐蝕、機(jī)械拋光對(duì)物體表面進(jìn)行處理的技術(shù)。除了增強(qiáng)美感之外，它還增加了對(duì)象的附加值。從傳統(tǒng)的金屬加工到再到醫(yī)療設(shè)備制造，都在蝕刻技術(shù)的應(yīng)用范圍之內(nèi)。那么，接下來同進(jìn)蝕刻跟大家聊聊：什么是金屬蝕刻？蝕刻技術(shù)的類型有哪些？

一、什么是金屬蝕刻？

金屬蝕刻是一種通過化學(xué)反應(yīng)或物理沖擊去除金屬材料的技術(shù)。金屬蝕刻技術(shù)可分為濕蝕刻和干蝕刻。金屬蝕刻由一系列化學(xué)過程組成。不同的蝕刻劑對(duì)不同的金屬材料具有不同的腐蝕特性和強(qiáng)度。

金屬蝕刻又稱光化學(xué)蝕刻，是指在金屬蝕刻過程中經(jīng)過曝光、制版、顯影，與化學(xué)溶液接觸后，去除金屬蝕刻區(qū)的保護(hù)膜，以達(dá)到溶解腐蝕、形成凸點(diǎn)、或挖空。最早用于制造銅板、鋅板等印刷凹凸板，廣泛用于減輕儀表板的重量，或加工銘牌等薄型工件。經(jīng)過技術(shù)和工藝設(shè)備的不斷改進(jìn)，蝕刻技術(shù)現(xiàn)已應(yīng)用于航空、機(jī)械、化工、半導(dǎo)體制造工藝，進(jìn)行電子薄件精密金屬蝕刻產(chǎn)品的加工。

二、蝕刻技術(shù)的類型

1.濕蝕刻：

濕法蝕刻是將晶圓浸入合適的化學(xué)溶液中，或?qū)⒒瘜W(xué)溶液噴射到晶圓上進(jìn)行淬火，通過溶液與被蝕刻物體的化學(xué)反應(yīng)去除薄膜表面的原子，從而達(dá)到蝕刻的目的.進(jìn)行濕法刻蝕時(shí)，溶液中的反應(yīng)物首先通過停滯邊界層擴(kuò)散，然后到達(dá)晶片表面，發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，產(chǎn)生各種產(chǎn)物。蝕刻化學(xué)反應(yīng)的產(chǎn)物是液相或氣相產(chǎn)物，然后這些產(chǎn)物通過邊界層擴(kuò)散并溶解到主溶液中。濕法蝕刻不僅會(huì)在垂直方向蝕刻，還會(huì)有水平蝕刻效果。

2.干蝕刻：

干蝕刻通常是等離子蝕刻或化學(xué)蝕刻的一種。由于蝕刻效果的不同，等離子體中離子的物理原子、活性自由基的化學(xué)反應(yīng)以及器件（晶圓）的表面原子，或兩者的結(jié)合，包括以下內(nèi)容：

物理蝕刻：濺射蝕刻、離子束蝕刻

化學(xué)蝕刻：等離子蝕刻

物理化學(xué)復(fù)合蝕刻：反應(yīng)離子蝕刻（RIE）

干蝕刻是一種各向異性蝕刻，具有良好的方向性，但選擇性比濕蝕刻差。在等離子體蝕刻中，等離子體是一種部分離解的氣體，氣體分子被離解成電子、離子和其他具有高化學(xué)活性的物質(zhì)。干蝕刻最大的優(yōu)點(diǎn)是“各向異性蝕刻”。然而，（自由基）干蝕刻的選擇性低于濕蝕刻。這是因?yàn)楦晌g刻的蝕刻機(jī)理是物理相互作用；因此，離子的沖擊不僅可以去除蝕刻膜，還可以去除光刻膠掩模。

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