蝕刻加工之防蝕層的制作方法

    在化學(xué)蝕刻加工中，不同類型的方式采用的防蝕材料的種類也不相同。早期的金屬蝕刻大多采用瀝青、石蠟和松香這類基本原料來制作防蝕層。隨著高分子化學(xué)工業(yè)的發(fā)展及感光技術(shù)的進(jìn)步，當(dāng)代防蝕層的技術(shù)制作已從過去的刻劃法發(fā)展到現(xiàn)在的感光法，絲印法，激光光刻等多種制作方法并存的時(shí)代，從而為不同要求的產(chǎn)品生產(chǎn)提供了更多的選擇。

    一、刻劃法，刻劃法防蝕層制作的基礎(chǔ)是需要既滿足蝕刻各項(xiàng)要求的同時(shí)又要容易剝離的防蝕及其配套的樣板和熟練的刻劃技術(shù)。這一方法受樣板及刻劃技藝的影響很大，普通民用領(lǐng)域的金屬蝕刻，很少采用刻劃法來進(jìn)行防蝕層制作，主要用于宇航工業(yè)某些部件及一些大型工件的蝕刻加工。

    二、照相化學(xué)法，照相化學(xué)防蝕層的基礎(chǔ)是光敏防蝕層，把感光樹脂溶解于有機(jī)溶劑中變?yōu)橐环N溶液，再把溶液作為涂料，涂覆到金屬表面，經(jīng)過烘干成為對(duì)光敏感的耐蝕薄膜。如在這層感光膜上，放上一張帶有圖文的膠片，當(dāng)紫外光透過這層帶有圖紋的照相膠片時(shí)，感光膜在透過膠片非圖文部位的部分的紫光線照射下曝光，這種光敏房防蝕層的樹脂便會(huì)在紫外線的作用下，光聚合并牢固附著在膠片透光部分的金屬表面上，而這部分經(jīng)過曝光的聚合的防蝕層和那些被膠片中有圖文部分遮蔽而未受光照的光敏防蝕層不同，在顯影集中它們是不溶解的。通過感光與未感光的光敏防蝕材料在顯影劑中的溶解特性的不同，從而完成防蝕層的制作過程。這一方法由于其制作精度高、效率高而被普遍采用，尤其是對(duì)于精密的圖文蝕刻來說，是使用的最為普遍的防蝕層制作技術(shù)。

    三、絲網(wǎng)印刷法，絲網(wǎng)印刷防蝕技術(shù)的發(fā)展和起步雖然比照相化學(xué)蝕刻法晚，但發(fā)展速度和普及程度很快。它可以看作是刻劃防蝕技術(shù)的另外一種做法，采用漏印的方式，將需要保護(hù)的圖文部分，轉(zhuǎn)印在金屬表面，從而完成圖文防蝕層制作達(dá)到保護(hù)目的。

    四、激光光刻法，激光光刻技術(shù)在化學(xué)蝕刻領(lǐng)域中的應(yīng)用已久，只是用于普通金屬蝕刻的防蝕層制作，是最近十年逐漸普及。這一方法是采用噴涂的方法，將防蝕材料涂覆在金屬表面，然后再用激光光刻機(jī)將需要蝕刻的圖文部分的防蝕層光刻去除，暴露出基體金屬，這一方法對(duì)平整工件表面的陰圖文蝕刻具有較大優(yōu)勢(shì)。其最大的特點(diǎn)是圖文精細(xì)度高，可以光刻出邊緣平直且非常精細(xì)的線條，這是絲印法甚至感光法都難以做到的。

    五、二次轉(zhuǎn)移法，用于無法采用一次轉(zhuǎn)移法進(jìn)行圖文轉(zhuǎn)移的工件，主要是針對(duì)一些異形面、形腔內(nèi)壁等難以用絲印或感光的方法進(jìn)行防蝕層制作的金屬表面，在這些類型的工件中以各種模具型槍為主，是模具形腔的標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)移方法。